等離子去膠機

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產品特點

◆ 7 寸彩色觸摸屏互動操作界面，自動控制監測工藝參數狀態，20 個配方程序，工藝數據可存儲追溯。

◆ PLC 工控機控制整個去膠過程，手動、自動兩種工作模式。

◆ 石英真空艙，全真空管路系統采用 316 不銹鋼材質，耐腐蝕無污染。

◆ 可選用石英舟，更適合晶元硅片去膠應用。

◆ 采用花灑式多孔道進氣方式，改變單孔進氣不均勻問題。

◆ 采用防腐數字流量計，實現對氣體輸入精準控制。標配雙路氣體輸送系統，可選多氣路氣體輸送系統，氣體分配均勻。可輸入氧氣、氬氣、氮氣、氫氣或混合氣等氣體。

◆ HEPA 高效過濾，氣體返填吹掃，防止二次污染。

◆ 處理高效均勻，效率高，工藝重復性好。

◆ 樣品處理溫度低，無熱損傷和熱氧化。

◆ 安全保護，艙門打開，自動關閉電源，機器運行、停止提示。

技術參數

型號	SPB5	SPB5plus
艙體尺寸	D300xΦ150mm	D300xΦ150mm
艙體容積	5.2L	5.2L
艙體材質	石英玻璃	石英玻璃
射頻電源	40KHz	13.56MHz
匹配器	自動匹配	自動匹配
激發方式	電感耦合（ICP）	電感耦合（ICP）
射頻功率	0-1000W 可調	0-300W 可調（可選 0-600W）
最大處理尺寸	Φ150m	Φ150m
氣體控制	質量流量計（MFC）（標配單路，可選雙路）流量范圍 0-500SCCM（可調）

工藝氣體	Ar、N ?、O ?、H ?或其他混合氣體等（可選）
時間設定	1-99 分 59 秒
真空泵	抽速約 8m3/h
氣體穩定時間	1 分鐘
極限真空	=1Pa
產品尺寸	L550xW550xH420mm
包裝尺寸	L650xW610xH620mm
電源	AC220V 50/60Hz，1152/452(752)W 所有配線符合《低壓配電設計規范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線路設計規范》等國標標準相關規定。
整機重量	52kg

CIF等離子去膠機